עיבוד מוצרים ורקע טכני
יצרנית ציוד מוליכים למחצה השיקה לאחרונה פרויקט לוקליזציה עבור לוחות ריסוס סיליקון קרביד, הדורש עיבוד של שני סוגים של חורים מיקרוניים של מערך של D0.5×6.5 מ"מ (יחס עומק-ל-קוטר 13:1) ו-D1×6.5 מ"מ על מצע סיליקון קרביד של מצע HV2, 70 קשיות. כמרכיב הליבה של ציוד התחריט של-הדור השלישי של מוליכים למחצה, רכיב זה כבר זמן רב תלוי ביבוא. דיוק העיבוד שלו משפיע ישירות על תפוקת ייצור השבבים, ופריצת הדרך של בקרת השבבים ויחס העומק-ל-קוטר בעיבוד מיקרו-חורים הפכו לצווארי הבקבוק המרכזיים להחלפה מקומית.
עיבוד נקודות כאב בתעשייה
פתרונות עיבוד מסורתיים עומדים בפני שלושה אתגרים:
ראשית, הקשיות של סיליקון קרביד קרובה לזו של יהלום, ומקדחים רגילים יכולים לעבד רק 3-5 חורים לפני שהם נשחקים;
שנית, היחס בין עומק-לקוטר- של 13:1 מקשה על הסרת שבבים, מה שעלול לגרום בקלות לשריטות בקיר החור או אפילו לשבירה של מקדחה;
שלישית, העלות של OEM מיובא היא עד 28,000 יואן ליחידה, ומחזור האספקה הוא עד 6 חודשים, מה שמגביל ברצינות את האבטחה של שרשרת האספקה המקומית של ציוד מוליכים למחצה.
בישןפתרונות
לאור המאפיינים האולטרה-הקשים והשבירים של סיליקון קרביד, צוות המו"פ של BISHEN אימץ באופן חדשני את התהליך המרוכב "רטט אולטרא-קולי + תרגיל PCD אינטגרלי":
רטט 20kHz בתדר גבוה-מפחית את התנגדות החיתוך ב-45% ומשתף פעולה עם מקדח ה-PCD (יהלום רב גבישי) שתוכנן באופן עצמאי כדי להשיג עיבוד רציף ויציב של 102 חורים מיקרו-D0.5mm D0.5 מ"מ, ואורך החיים של מקדח בודד גדל פי 20
שימוש באפקט הקוויטציה האולטראסונית כדי לשפר את חדירת נוזל הקירור, סתת הפה נשלטת בטווח של 0.018 מ"מ, וזה טוב יותר מהתקן התעשייה של 0.03 מ"מ
התכנון המקורי להסרת שבב ספירלה מבטיח שחספוס דופן החור Ra פחות או שווה ל-0.4μm של 13:1 עומק-לקוטר-מיקרוחור עומד בדרישות הניקיון ברמת המוליך למחצה-
ערך פריצת דרך טכנית
אימות עיבוד זה השיג שתי אבני דרך עיקריות: בפעם הראשונה, עלות העיבוד של מיקרו-חורים מקומיים בצלחת ריסוס סיליקון קרביד הופחתה ל-1/3 ממחיר היבוא, ומחזור האספקה נדחס ל-15 ימים; פריצת דרך נוספת, מגבלת העיבוד ביחס עומק-ל-קוטר הוגדלה מהמקובל בתעשייה 8:1 ל-13:1, מה שמספק חלקים עצמאיים וניתנים לשליטה עבור ציוד שבבי תהליך מתקדם מתחת ל-5nm.
