אחד מלקוחות המוליכים למחצה שלנו- OEM מבוסס-האיחוד האירופי המתמחה בליטוגרפיה EUV-פנה אלינו עם אתגר: לייצר צפיפות- גבוההצלחת קירור מיקרו-ערוציתעשוי מאלומיניום 6061-T6. הרכיב הנדרש מעל1,200 מיקרו-חורים, כל אחדØ 0.18 מ"מ, עם איחס עומק-ל-קוטר של 10:1, ודיוק מיקום מתחת ל-±5 מיקרומטרעל פני כל משטח החלק.
אתגרים מרכזיים כללו:
שבירה של כלי עבודהבגלל יחסי גובה-רוחב קיצוניים
שמירהישרות חורעל פני עומקי קידוח ארוכים
מבטיחפינוי שבביםמבלי לעוות את המיקרו-חורים
מניעהעיוות תרמיבמהלך קידוח מתמשך
כדי להתמודד עם אלה, העסקנו:
כלי מיקרו-מתמחים למקדחהעם תעלות קירור פנימיות
רב-שלביםאסטרטגיות קידוח ניקורעם בקרת השהייה ומשיכה
שטיפה בסיוע-אולטרסאונדכדי להבטיח פינוי שבב
בתהליך-ייצוב תרמיבין מעברים כדי לשלוט בהרחבה
לאחר איטרציות וסימולציות מרובות, יישמנו אתהליך קידוח וסגירה ב-2 מעבריםשהשיג גיאומטריית חורים עקבית ומשטחים פנימיים נטולי-קוצים. לאחר-בדיקת עיבוד באמצעות א500× מיקרוסקופ דיגיטליוCMM עם סריקת בדיקהמְאוּשָׁר:
כל החורים בפנים±3 μmלהקת סובלנות
חספוס פני השטח למטהRa 0.2 מיקרומטר
סטיית מרווח-לחור-בפנים±4 μmעל פני מטריצה של 150 מ"מ × 150 מ"מ
הרכיב עבר בדיקות דליפת הליום, בדיקות יעילות העברה תרמית, והתקבל למבנה הפיילוט של הלקוח ללא עיבוד מחדש.
