בתעשיית המוליכים למחצה,דיוק ברמת-מיקרוןזה לא מותרות-זה קו בסיס. רכיבים המשמשים במערכות טיפול פרוסות, תאי תחריט, וכלי פוטוליתוגרפיהלִדרוֹשׁסובלנות ממדיםלעתים קרובות מתחת ל-5 מיקרון. שיטות עיבוד CNC מסורתיות נאבקות לעמוד בדרישות כאלה ללא בקרת תהליכים מיוחדים ומטרולוגיה.
האתגר: כאשר המיקרונים חשובים
בניגוד לחלקים תעשייתיים רגילים, רכיבי מוליכים למחצה חייבים:
לְתַחְזֵקשטיחות והקבלה קיצונית
ישיישור חור וגובה מדויק
לְהַבטִיחַפגמים משטחים מינימלייםשעלולים להשפיע על הוואקום או הביצועים האופטיים
אפילו הסטייה הקלה ביותר יכולה להוביל ל:
חוסר יישור במהלך העברת פרוסות
אובדן דיוק בהקרנת פוטומסק
אובדן תשואה עקב זיהום או סחיפה גיאומטרית
דוגמה אמיתית-לעולם: מסגרות כלי ליטוגרפיה
בפרויקט אחד הכולל אמסגרת סגסוגת אלומיניום קלת משקלעבור מערכת פוטוליטוגרפיה,סובלנות מתחת ל-5 מיקרומטרנדרש על משטחי הרכבה כדי להבטיחיישור שכבת-על מושלםשל דפוסי שבבים.
כדי להשיג זאת, יישמנו:
עיבוד CNC 5 צירים עם פיצוי תרמי
בקרת ציר-נמוכה,-גבוהה
חיטוט ממדי-זמן אמת ולולאות משוב
ללא דיוק שכזה, תזוזה של 10 מיקרומטר בלבד עלולה לעוות את יישור המסכה ולהפחית את תפוקת השבבים-תעלות ללקוח זמן השבתה משמעותי ואובדן חומר.
התהליך שלנו בדיוק BISHEN
אנו משרתים יצרני OEM מוליכים למחצה עם:
כרסום וחריטה CNC-מדויקים במיוחד (±2~5μm חזרה)
Ra פחות או שווה לגימור משטח של 0.2μmעבור איטום קריטי או אזורים אופטיים
אריזה תואמת {{0} לחדר נקי
בדיקת CMM וסריקת לייזר עם דוחות הניתנים למעקב
הצוות שלנו מבין אתקריטיות של כל מיקרון-ומגבה אותו עם ניסיון במתן שירות הן למחקר ופיתוח והן בסביבות ייצור בנפח-גבוה-בנפח נמוך-.
למה זה חשוב
בייצור מוליכים למחצה, גיאומטריה היא הכל. כל עיוות, חוסר יישור או קוצים עלולים לגרום ל:
עיוות דפוס
שגיאות טיפול בפרוסות
כשל במערכת ואקום
עיבוד שבבי מדויק אינו עוסק רק בסובלנות הדוקה-זה עוסק בהבטחתפונקציונליות ואמינותשל-ציוד ייצור שבבים מהדור הבא.
