בעולם של ייצור ציוד מוליכים למחצה,איכות פני השטח היא לא רק עניין של אסתטיקה-זה עוסק בתפקוד, אריכות ימים ודיוק. רכיבים כמו תושבות רקיק, תושבות עדשות ומכווני דיוק חייבים לעמוד לא רק בסובלנות ממדי, אלא גםדרישות גימור משטח קיצוניות, לעתים קרובות למטהRa 0.1 מיקרומטר.
למה ננומטר-רמת גימור משטח חשוב
ציוד מוליכים למחצה בעל ביצועים גבוהים- מסתמך במידה רבה על דיוק מגע ותאימות לחדר נקי. חספוס פני השטח העולה על ספי ננומטר יכול:
להפריעדיוק מיקום פרוסות
לְהַגדִילחיכוך ובלאיבזמן תנועה
לִגרוֹםפיזור אות אופטי, המשפיע על הפוטוליתוגרפיה
לִיצוֹרמלכודות חלקיקים, הגדלת סיכוני הזיהום
למשל, אטבעת תמיכה במת רקיקעם חספוס פני השטח מעל המפרט עלול לגרום למיקרו-רעידות, להפחית את דיוק המיקום ולהפחית את התפוקה.
אתגר העיבוד שבבי CNC
הגעה לגימור משטח של Ra פחות או שווה ל-0.1 מיקרומטר היא הרבה מעבר לתהליכי CNC סטנדרטיים. כלי עבודה ופרמטרים מסורתיים משאירים אחריהם מיקרו-שריטות, סימני עיבוד או מתח שיורי-, כולם בלתי מקובלים בסביבות מוליכים למחצה.
הגישה שלנו לאיכות ננומטר-
בְּדיוק BISHEN, פיתחנו תהליכי עבודה של עיבוד שבבי במיוחד עבור יישומים רגישים-לשטח:
שימוש בכלי קרביד-דק במיוחדעם גיאומטריות מותאמות אישית
ליטוש עוברמשולבים בנתיבי כלים סופיים
מערכות בקרת נוזל קירורכדי למנוע דמעות מיקרו-הנגרמות בחום
תיאום עםCMMs ואינטרפרומטרים של-אור לבןכדי לאמת חספוס
כל חלק עובר בדיקה רב-שלבית לא רק לגבי סובלנות ממדים, אלא גם עבורעקביות משטח תת--מיקרוןבכל מישורי המגע.
מארז אמיתי: מראה-לוחות תמיכת רקיק מוגמרות
לקוח דרש צלחות פרוסות אלומיניום בגימור פני השטח טוב יותרRa 0.05 מיקרומטר, אחיד על פני כל המתקן. תוך שימוש בטכניקות גימור במהירות גבוהה-באופטימיזציה ואסטרטגיות ליטוש מותאמות אישית, סיפקנו רכיבים חורגים מהמפרט-מוכנים להרכבת חדר נקי ברמת EUV-.
אל תיתן לגימור פני השטח לערער את המערכת שלך
חוסר שלמות פני השטח בקנה מידה ננו יכול לסכן בשקט את המנגנונים המדויקים ביותר שלך. אם הבקשה שלך דורשתגימורים בדרגה-אופטית, אוביצועי חיכוך מעולים, דבר איתנו. אנו נעזור להבטיח שהחלקים שלך יעמדו בשניהםסוֹבלָנוּתומִרקָם.
