בתחום ייצור ציוד מוליכים למחצה, טבעות שער פוליסיליקון הן רכיבי מפתח בתהליך ייצור השבבים. בעת קידום לוקליזציה של רכיבי הליבה, יצרנית ציוד מוליכים למחצה ביתי נתקלה בבעיית עיבוד קשה - היה צורך להשלים טחינה קווי מתאר פנימית גבוהה ועיבוד חריצים על טבעות פוליסיליקון בקוטר 290 מ"מ ועובי של 45 מ"מ, ותהליכים מסורתיים היו קשים לענות על צרכי ייצור המונים.
Points עיבוד רקע ונקודות כאב בתעשייה
A. עיבוד רקע
בשל תכונותיו המוליכות למחצה המצוינות, Polysilicon נמצא בשימוש נרחב בחלקים מבניים של שער של ציוד כמו משתלי יונים ותחריטים. רכיבים כאלה צריכים להסיר יותר מ- 7 0% מהחומר באמצעות תהליכי טחינה מרובים, תוך הבטחה כי העיגול בקווי המתאר הפנימיים הוא פחות או שווה ל- 0. 005 מ"מ והסובלנות לרוחב החריץ היא ± 0.01 מ"מ, שמציבה דרישות מחמירות על יציבות הציוד לעיבוד והכלי.
B. דילמה של עיבוד מסורתי
1. למכונות השחיקה המסורתיות יש יעילות עיבוד נמוכה, ויצירה אחת אורכת יותר משמונה שעות
2. שיעור הסדוק במהלך עיבוד משבצות גבוה כמו 35%, וכתוצאה מכך מגרדת אצווה
3. סטיית העיגול של המעגל הפנימי היא> 0. 015 מ"מ, המשפיע על האחידות של חלוקת הפלזמה של הציוד
Solutions Solutions Bishen: טכנולוגיה קולית + פעולת שיתוף פטיפון במהירות גבוהה
לאור מאפייני העיבוד של חומרים קשים ושביר של פוליסיליקון, הצוות הטכני של Bishen התאם אישית פיתרון לשלושה באחד:
1. מערכת חריטה ודיוק קולי אולטרה סאונד: רטט בתדר גבוה של 20 קילו הרץ מפחית את עמידות החיתוך ב- 50%
2. DDR אנכי פטיפון במהירות גבוהה : 3000 סל"ד ± 1 ″ דיוק, השגת בקרת מסלול ברמת ננו
3. פתרון כלי מורכב בשיפוע :
כלים מצופים יהלום משמשים להסרת חומרים מהירה במהלך עיבוד גס
כלי PCD קוליים מועברים לעיבוד עדין
נתונים מדוד מרעננים את מדד התעשייה
באימות קו ייצור הלקוחות, פיתרון Bishen השיג:
יעילות העיבוד גדלה פי 2.8, וזמן העיבוד של חתיכה אחת נדחס ל 2.8 שעות
שיעור השבבה של החריץ הופחת מ- 35 % ל- 0. 5 % או פחות
עיגול המעגל הפנימי נשלט ביציבות ב 0. 003-0. 005 מ"מ
חספוס פני השטח RA פחות או שווה ל- 0. 4 מיקרומטר, וזה טוב יותר מרמת העיבוד של ציוד מיובא
פריצת דרך זו הגדילה את שיעור ההסמכה של ייצור ההמונים של טבעות שער הפוליסיליקון של הלקוחות מ 61% ל 98.7%, והחליפו בהצלחה חלקים מיובאים.
אוֹדוֹתBishen
בישןהיה מעורב עמוק בתחום ייצור הדיוק במשך יותר מעשר שנים, תוך התמקדות בפתרון בעיות העיבוד "צוואר-סטיק" במוליכים למחצה, פוטו-וולטאית ותעשיות אחרות. 7,500 מ"ר של החברה של Factory של החברה מצוידים במודולי טכנולוגיות ליבה כמו עיבוד סיוע קולי והצמדת חמש צירים. היא סיפקה פתרונות עיבוד חלקים מפתח ליותר מ 20 יצרני ציוד מוליכים למחצה מקומיים. הטכנולוגיות הרלוונטיות עברו אישור מיוחד של ISO9001 ומוצרי מוליכים למחצה, וממשיכים לסייע בתהליך של עצמאות ציוד ייצור מתקדמת.
