בתחום ייצור השבבים, איכות העיבוד של טבעות סיליקון גבישות חד-גביריות שכן יצירות עבודה ליבה משפיעות ישירות על הביצועים של מכשירי מוליכים למחצה. אצווה של טבעות סיליקון גבישות חד-גביריות D360 מ"מ שעובדו על ידי חברה מסוימת התמודדו לאחרונה עם שלוש בעיות עיקריות בתהליך הטחינה המסורתי: יעילות נמוכה, מומים במשטח רבים, ופיצוח קל של קירות דקים בגלל המבנה המורכב שלהם (כולל מעגל פנימי, מעגל חיצוני, מטוס ותכונות שלב).
עיבוד נקודות כאב ברקע ותעשייה
טבעות סיליקון גבישות חד-גוניות צריכות לעבור תהליכים מרובים כמו חיסול וגימור, והמבנה הדק-קירות שלהם (עובי הוא 1.2 מ"מ בלבד) דורש יציבות עיבוד גבוהה במיוחד. התהליך המסורתי משתמש בגלגלי השחזה לטחינת, אך ישנם חסרונות ברורים:
יעילות נמוכה :עיבוד חתיכה יחידה אורך עד 408 שניות, שקשה להתאים לדרישות הייצור המוני;
איכות פני השטח : החספוס לאחר הטחינה הוא רק ra 0. 30 מיקרומטר, ונדרש ליטוש נוסף;
הפסד תשואה מרושע : שיעור הסתבכות באזור הקירות הדק עולה על 15%, ועלות ההפסד החומרי גבוהה.
פתרונות Bishen: טכנולוגיית חריטה ודיוק קולית מיושמת
לאור המאפיינים של סיליקון מונוקריסטלי, הצוות הטכני של בישן הציע פיתרון תהליכים חדשני:
חריטה ודיוק אולטרסוני: להפחית את עמידות החיתוך באמצעות כלי רטט בתדר גבוה כדי להימנע מכוח מרוכז במבנים דקים עם קירות;
Ddr אנכי פטיפון במהירות גבוהה : עם בקרת הצמדה רב-ציר, הגשים יצירת חד פעמית של משטחי קווי מתאר והפחיתו את ההידוק החוזר;
Parameters חיתוך משותפים : אופטימיזציה של קצב הזנה ועומק קיצוץ עבור המאפיינים השבירים והקשים של סיליקון מונוקריסטלי.
יעילות העיבוד פורצת דרך מדדי התעשייה
נתוני הייצור בפועל מראים כי הפיתרון החדש השיג שלושה שיפורים עיקריים:
יעילות גדלה ב- 67%: זמן העיבוד של היצירה בודד מתקצר מ- 408 שניות ל 136 שניות;
חספוס משטח מופחת ב- 80%: להגיע Ra 0. 06 מיקרומטר, עמידה בדרישות הרכבה ישירה;
שיעור הכישלון מתקרב לאפס: טכנולוגיה קולית מדכאת למעשה את סדקי המיקרו ומגבירה את השימוש בחומרים ב- 20%.
About Bishen
בישןמתמקד במחקר טכנולוגי ופיתוח ושילוב ציוד בתחום עיבוד דיוק גבוה, ומחויב לספק פתרונות בהתאמה אישית לתעשיות המוליכים למחצה, אופטיים ורפואיים. צוות החברה עוסק עמוק בטכנולוגיית עיבוד חומרים -על, ושירת יותר ממאה חברות ייצור ברחבי העולם. טכנולוגיות הליבה שלה כוללות עיבוד קולי, הצמדה לחמישה צירים ומערכות אופטימיזציה של תהליכים חכמים.
