עיבוד תכונות המוצר
חוֹמֶר:זכוכית קוורץ בטוהר- גבוה (תוכן SiO₂ גדול או שווה ל-99.99%)
תַהֲלִיך:שחיקת שיפוע חלל (קוטר 408 מ"מ × עובי 20.5 מ"מ)
דרישות דיוק:קונטור קטן או שווה ל-0.02 מ"מ, חספוס Ra פחות או שווה ל-0.8 מיקרומטר
אתגרים בתעשייה ונקודות כאב
א. מאפייני עיבוד זכוכית קוורץ
שבריריות גבוהה, שיעור פגמי קריסת קצה עולה על 30%
עיבוד משטח אספרי קעור נוטה לעיוות מתאר
שחיקה מסורתית של גלגל שחיקה נוטה למיקרו-סדקים תת--תת-קרקעיים
ב. פגמי פתרון מסורתיים
יעילות נמוכה:עיבוד חתיכה בודדת לוקח יותר מ-72 שעות
חוסר דיוק:תנודת המתאר מגיעה ל-0.03 מ"מ
נזק פני השטח:ניתן לשלוט בחספוס רק ב-Ra1.2μm
בישןפתרונות: מערכת עיבוד ירוק קולי
צִיוּד:מרכז כרסום קולי עם חמישה-צירים (זיהוי אופטי מקוון משולב)
תַהֲלִיך:20kHz גבוה-שחזה בסיוע קולי (בקרת טמפרטורת נוזל קירור ±1 מעלה)
בקרת איכות:פיצוי-בזמן אמת עבור עיוות עיבוד, שיפור של 40% ברמת הדיוק
פריצת דרך ביצועים מדודה
בקרת קריסת קצה:נפח הפגם מצטמצם מ-0.433 מ"מ ל-0.049 מ"מ (ירידה של 88.7%)
איכות פני השטח:חספוס Ra0.58μm (27.5% טוב יותר מהתקן התעשייה)
דיוק קווי מתאר:יציב עד 0.015 מ"מ
