ניתוח של אובייקט עיבוד
חוֹמֶר: זכוכית קוורץ בדרגה אופטית
תכונות עיבוד: השחזה מרובה-מתאר משטח (כולל 3 היבטים אסימטריים)
מידות מפתח: 16×16×10 מ"מ (שגיאה ±0.002 מ"מ)
מנסרת קוורץ זו, שגודלה רק כגודל ציפורן, היא האלמנט המנחה את האור-של המערכת האופטית של מכונת ליטוגרפיה ביתית-תיכונית. 8 המשטחים המעוקלים המורכבים שלו צריכים להשיג 99.6% שידור ודיוק שבירה ברמת ננומטר-, וחספוס פני השטח משפיע ישירות על רזולוציית החשיפה של מכונת הליטוגרפיה.
נקודות כאב בתעשייה וקשיים טכניים
חברת טכנולוגיה אופטית נתקלה בצוואר בקבוק בעיבוד מנסרות קוורץ בעת קידום לוקליזציה של מכונות ליתוגרפיה:
פגמי שחיקה מסורתיים: החספוס לאחר ליטוש ידני עדיין מגיע ל-Sa 120nm, וכתוצאה מכך 15% אובדן פיזור אור
תלות ציוד ביבוא: העלות של מטחנה יפנית דיוק{0}}יחידה עולה על 20 מיליון יואן, ותקופת האספקה היא עד 18 חודשים
משבר תשואות: רק 32 מהאצווה הראשונה של 500 הפקות ניסיון עמדו בסטנדרטים, מה שגרר ברצינות את התקדמות הפרויקט
הדילמה של "לא יכול להרשות לעצמו ציוד מיובא, והתהליכים המקומיים אינם טובים" חסמה ישירות את התהליך של פיתוח מכונות ליתוגרפיה עצמאית.
בישןהפתרון של פתרונות
בתגובה לדרישות הדיוק הקיצוניות של רכיבים אופטיים, הצוות הטכני של BISHEN פיתח מחקר ופיתוח חדשניים:
1. מערכת עיבוד קישורים אולטרסאונד אנכית של חמישה-צירים
פיצוי דינמי ברמה של 2. 0.1מיקרומטר-, שליטה מדויקת בכלי מכונות הצמדה עם 18 צירים
3. התאמת משטח אסימטרי CAD/CAM תכנות חכם
4. טכנולוגיית השחזה בסיוע קולי-גבוהים
5. 40רטט קולי של קילו-הרץ מפחית 52% ממתח החיתוך ומונע סדקים מיקרו-קוורץ
6. חיי גלגל השחזה במיקרו-אבקת יהלום מתארכים פי 3
זינוק ביצועים נמדד בפועל
שלוש פריצות דרך עיקריות הושגו בייצור המוני של סוג מסוים של פריזמה של מכונות ליתוגרפיה ביתיות:
1. איכות פני השטח: חספוס Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. יעילות עיבוד: שעות עבודה-יחידות נדחסות מ-14 שעות ל-3.5 שעות
3. בקרת עלויות: ההשקעה בציוד היא רק 1/5 מהפתרון המיובא
שיעור התשואה של המנה הראשונה של 3,000 מוצרים זינק ל-98.7%, ועזר ללקוחות להשלים את הרכבת האב-טיפוס 6 חודשים לפני המועד המתוכנן.
אוֹדוֹתבישן
בישןPrecision Technology (נוסדה בשנת 2017) מתמקדת בפריצת טכנולוגיית "צוואר הבקבוק" בתחום הייצור הגבוה-. היא בנתה מפעל דיגיטלי בשטח של 7,500 מ"ר בדונגגוואן, המצויד באשכולות ציוד מיובא כגון מרכזי עיבוד של חמישה-צירים ומטחנות אופטיות מדויקות במיוחד. על ידי יישום טכנולוגיות חדשניות כגון עיבוד שבבי קולי וחיתוך קריוגני על ציוד מוליכים למחצה, מכשירים אופטואלקטרוניים ותחומים אחרים, היא סיפקה פתרונות עיבוד חלקים מרכזיים ליותר מ-20 חברות רשת תעשייתיות מכונות ליתוגרפיה מקומיות, וסיפקה יותר מ-500,000 רכיבים אופטיים מדויקים.
