מקרה מבחן: פריצת דרך בעיבוד מצע זכוכית קוורץ
אובייקט עיבוד: מצע זכוכית קוורץ לפוטוליתוגרפיה
מפרטים:
חוֹמֶר: זכוכית קוורץ בטוהר 99.99% גבוה-
תכונות עיבוד: דו- דו צדדי C0.2 שיפוע + קיר צד אנכי
דרישות פני השטח: Ra < 150nm (דרגת מראה)
מידות: 145×145×5.5 מ"מ±0.01 מ"מ
ניתוח נקודות כאב בעיבוד בתעשייה
בתור החומרים המתכלים של ציוד לייצור מוליכים למחצה, חלקי קוורץ לפוטוליתוגרפיה צריכים לעמוד בשלושה תקנים מחמירים בו-זמנית: העברת חומר > 99.6%, סובלנות מימדית ±10 מיקרומטר וחספוס דופן הצד Ra < 150nm. שיטת העיבוד המסורתית משתמשת בתהליך השחזה של גלגל שחיקה, שיש לו שתי בעיות עיקריות בתעשייה:
צוואר בקבוק של יעילות: עיבוד-יחיד נמשך עד 120 דקות
פגמים פני השטח: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 ננומטר
אובדן כלי: חיי כלי עבודה רגילים הם פחות מ-50 חלקים
בישןחדשנות טכנולוגית פתרונות
לאור המאפיינים הקשים והשבירים של חומרי קוורץ, קומפוזיטפתרון עיבודמאומצת:
• מערכת חריטה וכרסום דיוק קולי 20kHz
• חותך כרסום להבים מיקרו-PCD אינטגרלי (קצה R0.05 מ"מ)
• תהליך חיתוך צירי בשכבות (2 מיקרומטר לשכבה)
השוואה בין יתרונות עיבוד מדודים
באמצעות אימות תהליך והשוואה, אינדיקטורים מרכזיים שופרו משמעותית:
ערך יישום בתעשייה
פתרון זה פתר בהצלחה את בעיית העיבוד "צוואר הבקבוק" בתהליך הלוקליזציה של חלקי מכונות ליתוגרפיה, והגדיל את כושר ייצור מצע הקוורץ מ-10 חתיכות ליום ל-50 חתיכות, ואת שיעור ההסמכה לעיבוד מ-63% ל-98.5%. על פי הזיהוי של אינטרפרומטר לייזר Zeiss, ערך PV דיוק משטח העיבוד הוא<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
אוֹדוֹתבישן
בישן דיוקמתמחה בעיבוד חלקי חומרה מדויק, עם 7,500 מ"ר של סדנאות סטנדרטיות, ושירותיה מכסים תעופה וחלל, ציוד רפואי, רובוטים תעשייתיים ותחומים נוספים. עם היכולת לעבד חלקי מבנה מורכבים והסמכת מערכת ISO, היא מספקת ללקוחות פתרונות תהליכים מלאים- מתכנון ופיתוח ועד לייצור המוני.
